二次離子質(zhì)譜儀（SIMS）作為飛行時(shí)間質(zhì)譜儀的重要細(xì)分類型，是半導(dǎo)體、生命科學(xué)等關(guān)鍵領(lǐng)域的核心材料表面分析工具。該類儀器因技術(shù)復(fù)雜度高、研發(fā)周期長(zhǎng)、資金投入強(qiáng)度大，長(zhǎng)期以來被少數(shù)跨國(guó)企業(yè)壟斷，成為我國(guó)高精尖科學(xué)儀器領(lǐng)域的 “卡脖子" 產(chǎn)品之一。雪迪龍聚焦這一技術(shù)空白，持續(xù)推進(jìn)二次離子質(zhì)譜儀的自主研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，此次中標(biāo)高校項(xiàng)目，正是國(guó)產(chǎn)質(zhì)譜儀打破進(jìn)口依賴、獲得科研領(lǐng)域認(rèn)可的直接體現(xiàn)。

飛行時(shí)間質(zhì)譜儀（TOF-MS）是將飛行時(shí)間檢測(cè)技術(shù)與質(zhì)譜分析技術(shù)相結(jié)合的gao端分析設(shè)備，而二次離子質(zhì)譜儀則是其在表面分析領(lǐng)域的核心應(yīng)用形態(tài)。雪迪龍研發(fā)的飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS），整合了兩者的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，兼具高分辨率、高靈敏度、精確質(zhì)量測(cè)定等核心特性，憑借質(zhì)譜分析、二維成像、深度剖析三大核心功能，已廣泛適配醫(yī)學(xué)、細(xì)胞學(xué)、地質(zhì)礦物學(xué)、微電子、材料化學(xué)、納米科學(xué)、生命科學(xué)等多個(gè)前沿領(lǐng)域的科研與檢測(cè)需求。其核心工作原理清晰易懂：離子源發(fā)射的離子束作為一次離子源，經(jīng)一次離子光學(xué)系統(tǒng)聚焦與傳輸后，精準(zhǔn)轟擊樣品表面；樣品表面受濺射后產(chǎn)生二次離子，系統(tǒng)對(duì)二次離子進(jìn)行提取與聚焦，隨后送入離子飛行系統(tǒng)；在飛行系統(tǒng)中，不同質(zhì)荷比（m/z）的二次離子因飛行速度差異實(shí)現(xiàn)分離，通過對(duì)分離后的離子進(jìn)行檢測(cè)，即可完成樣品元素成分、分布特性等相關(guān)分析。

相較于能量色散 X 射線光譜（EDX）、俄歇電子能譜（AES）、X 射線光電子能譜（XPS）等傳統(tǒng)技術(shù)，飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀具備更高的橫向與縱向分辨率，以及更優(yōu)的質(zhì)譜靈敏度，可實(shí)現(xiàn)元素、同位素、分子等多維度信息的精準(zhǔn)分析，能夠提供傳統(tǒng)技術(shù)無法覆蓋的專屬元素信息，為前沿科研與工業(yè)檢測(cè)提供核心技術(shù)支撐。